Метод вакуумного напыления

http://www.ce-studbaza.ru/schriebe.php?id=748

Метод вакуумного напыления уже довольно давно исполь­зуется для изготовления аморфных пленок простых металлов и не­которых сплавов. Суть метода состоит в следующем. Металл или сплав нагревают в вакууме (обычно110-3—10-4 Па), при этом с его поверхности испаряются (сублимируются) атомы, которые за­тем осаждаются на массивную охлаждаемую плиту-подложку. Для нагрева образца применяются печи сопротивления, высокрчастот- ные индукционные печи, электронный луч, а в качестве подложки используют стекло или сапфир. Напыляемые атомы металла в ва­кууме движутся прямолинейно, сталкиваются с подложкой и «при­липают» к ней. При этом, однако, на подложку попадают и атомы газа (например, кислорода), которые неизбежно присутствуют в вакууме, в результате эти атомы будут присутствовать и в напыля­емой пленке, поэтому ее свойства оказываются существенно зави­сящими от степени вакуумирования и наличия остаточного газа того или иного сорта.